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GaAs/SiO

上传者: 2021-04-19 15:21:19上传 PDF文件 1.01MB 热度 14次
采用射频磁控共溅射与高真空退火相结合的方法, 分别在单晶硅片和光学石英玻璃片上制备了GaAs/SiO
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