C4F8 / Ar电感耦合等离子体中的熔融石英玻璃干法蚀刻用于穿通玻璃(TGV)应用

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C4F8Ar电感耦合等离子体中的熔融石英玻璃干法蚀刻用于穿通玻璃TGV应用

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