电感耦合等离子体蚀刻以制造用于聚合物波导生物传感器应用的感测窗

集成的聚合物波导生物传感器通常用于检测化学/生物样品。 为了提高传统的仅具有一个感测表面的波导传感器的灵敏度,我们基于电感耦合等离子体刻蚀方法设计并制造了具有三个感测表面的改进的感测窗,在理论上其灵敏度可以提高2.8倍。 系统研究了刻蚀参数的影响,尤其是天线功率,偏置功率和氧气流速的影响,并对刻蚀参数进行了优化,以制作出感应窗。 在这种最佳刻蚀条件下,制造了具有改进的感测窗的单模平衡马赫曾德尔干涉仪波导生物传感器,其灵敏度高于传统感测窗的传感器。 这种类型的感测窗口在聚合物波导生物传感器设备中将非常有用。