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XeCl准分子激光光束均匀器及其应用

上传者: 2021-04-18 07:02:41上传 PDF文件 746.59KB 热度 9次
采用光束均匀器,改善XeCl准分子激光器输出光束强度的分布,其起伏优于2%,用这一装置测量了C60薄膜的刻蚀阈值,并完成了准分子激光改变C60薄膜电导率的实验研究。
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