XeCl准分子激光光束均匀器及其应用 上传者：xukf 2021-04-18 07:02:41上传 PDF文件 746.59KB 热度 36次 采用光束均匀器,改善XeCl准分子激光器输出光束强度的分布,其起伏优于2%,用这一装置测量了C60薄膜的刻蚀阈值,并完成了准分子激光改变C60薄膜电导率的实验研究。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
