高频/射频谐振器件以及相关的测试表征系统研究

在当今用于无线通讯系统、移动接收终端和无线传感器网络的无线收发系统中,与IC电路连接的分立器件,如滤波器、开关和振荡器等是阻碍系统小型化和高度集成的技术瓶颈。因此,开发与IC电路在同一芯片集成的无源器件是开展这一领域研究的原动力。 微机电射频谐振器件(MEMS Resonators)是解决这一难题的技术途径。不仅加工技术与IC工艺兼容,而且可获得高品质因子(Q)。研究具有高Q值的MEMS谐振器并发展新型电路和系统,将从根本上改变射频器件和产业的发展。欧美各国从上世纪九十年代起,长期支持射频MEMS谐振器件的研发,2006年研制出了频率达125 MHz的MEMS振荡器。 微机电系统(ME