半导体所在微机电射频谐振器件研究 上传者：qq_63055 2021-01-17 01:07:53上传 PDF文件 92.76KB 热度 27次 在科技部和中国科学院的大力支持下,半导体研究所集成技术工程研究中心相关课题组多年来致力于射频谐振器件以及相关的测试表征系统的研制工作,在谐振器构型、微纳加工工艺、器件测试方法研究和测试系统组建等方面取得了系列科研进展。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
