1. 首页
  2. 数据库
  3. 其它
  4. 高效铜激光倍频及在光刻中的应用

高效铜激光倍频及在光刻中的应用

上传者: 2021-04-08 17:39:26上传 PDF文件 1.41MB 热度 7次
通过线聚焦将自滤波振荡行波放大后的铜激光在BBO晶体中信频,当基频光功率为5.4 W时,倍频效率达14.4%。用钢激光倍频光进行接触式光刻,刻线分辨率优于1.0 μm。
用户评论