高效铜激光倍频及在光刻中的应用
通过线聚焦将自滤波振荡行波放大后的铜激光在BBO晶体中信频,当基频光功率为5.4 W时,倍频效率达14.4%。用钢激光倍频光进行接触式光刻,刻线分辨率优于1.0 μm。
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