铜激光倍频光亚微米投影光刻系统的设计和实验研究 上传者：zengjd 2021-02-19 21:44:07上传 PDF文件 909.03KB 热度 36次 为了研究波长为255.3 nm的铜蒸气激光倍频光在亚微米光刻中的可行性,设计了带宽为1 nm的1:1折反射式投影光刻物镜和一个带散射板的光管式均匀照明系统,获得了0.6 μm的光刻分辨率。此结果表明,铜激光倍频光可作为亚微米光刻的照明光源。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
