激光微细熔覆快速制造微加热器阵列

采用激光微细熔覆法制备了2×2和1×4微加热器阵列,研究了激光扫描功率和速率对微加热器图形线宽的影响。结果表明,线宽随激光功率增大而增大;随扫描速率增大而减小。并对2×2微加热器阵列进行了性能测试。研究了加热时间、电压和空间位置对温度的影响规律。结果表明,微加热器温度随加热时间的延长而升高并最终达到稳定值;随电压的增加而升高;加热区域离微加热器越远,温度越低。对恒定电压下的升温速率进行了计算和测定,第一分钟内加热速度可达0.45 °C/s。最后,给出了所制作的微加热器及其阵列的示例。