激光微细熔覆快速制造厚膜热敏传感器的研究

采用激光微细熔覆技术,利用钌系厚膜热敏电阻浆料,在质量分数为96%的Al2O3陶瓷基板上成功地制作出热敏电阻器。热敏电阻图形的极限线宽线距能达到60 μm。元件的电阻温度特性(TCR)值为2.33×10-3 /°C,热响应时间2.3 s,线性度达到0.6 °C,有着良好的重复性、热稳定性和迟滞性。通过实验得出了激光处理工艺中参数对元件性能的影响规律。对所制作热敏电阻元件的各项电性能进行测量,并与传统工艺制作的元件进行了比较,测试结果证实新工艺制作的元件具有相对优良的特性,有较强的实用前景。