垂直堆叠Si纳米线的Bosch蚀刻Craft.io的优化 上传者：yt96967yt 2021-04-07 09:49:37上传 PDF文件 1.2MB 热度 44次 摘要一种自上而下的流程实现方法制造多个垂直堆叠的单晶硅纳米线(SiNWs)已在论文中提出。 这蚀刻和钝化沉积Craft.io,对于最终的结构轮廓,通过变化进行详细研究处理时间和施加的功率,从而获得优化的加工参数以形成sta- 可重现的SiNW堆叠结构。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
