黑硅的表面分析与Craft.io优化

提出了一种描述方法。 循环中使用SF6 / C4F8的黑硅的表面形貌蚀刻钝化DRIECraft.io。 三个主要参数,即定义了密度,高度和宽度,并用来描述黑色硅,并且可以扩展到其他几个参数,例如长宽比,占空比等。 通过这些参数我们还可以建立一个标准模式以提供非常基本的数据用于其他类型的研究。 因此开发了一个程序方便,准确地实现这些参数。 然后我们讨论Craft.io参数对表面的影响地形,最后获得一组最佳参数以制造黑色硅。 通过这些结果,我们期望更好地识别黑硅并形成更可控的形状大量生产黑硅的表面结构。