有机无机杂化型共面波导行波电极电光调制器

针对有机无机杂化的电光材料设计了单模加载条形的波导结构,模拟了这种结构中光场的分布,制作了直波导,测得其传输损耗为2.0 dB/cm;采用这种加载条形的波导结构设计了马赫-曾德尔干涉型(MZI)电光调制器,通过对MZI结构互作用区的优化选择,互作用区两波导间距为30 μm,长度为15000 μm;通过分析共面波导型行波电极的中心电极宽度及中心电极与地电极间距对特性阻抗、重叠积分因子以及半波电压的影响,得出中心电极宽度9 μm,中心电极与地电极间距5 μm时,器件半波电压最低,为8.4 V。器件制作完成后对其进行测试得出了线性调制曲线,并测得半波电压为9.0 V,与理论值基本符合。