硅基电光调制器分类

从电学结构分,可分为 (1)PIN结构:通过PIN[15]结构的正偏或反偏来实现载流子的注入或耗尽。其特点是制作工艺较简单,集成度差,响应频率较低,从几百kHz到几MHz。如果截面做得小,则调制频率可达几十兆赫兹甚至更高。其结构如图1所示。 图1 PIN结构调制臂截面 (2)双极场效应管结构[16](BMFET):通过对端电压的控制来实现载流子的注入或耗尽。工艺较PIN复杂,响应频率较高,从几MHz到几十MHz。其截面示意如图2所示。 图2 BMFET结构调制器调制臂截面示意图 (3)金属-氧化物-半导体结构[17](MOS):通过对栅电压的控制来实现