紫外光致抗蚀剂在聚合物准矩形电光波导中的应用

聚合物波导电光(EO)器件在提高光网络带宽和容量方面起着关键作用。 设计并制造了一种基于有机/无机杂化材料(OIHM)的准矩形电光波导。 SiO2被用作下部包层。 紫外光致抗蚀剂SU-8用作引导芯。 分散的红色1(DR1)掺杂的OIHM的发色团用作EO活性层。 通过优化电感耦合等离子体(ICP)蚀刻的天线功率,偏置功率和O2流量等参数,SU-8可以同时用作导向芯和蚀刻掩模。 通过传统的半导体Craft.io,成功制备了准矩形电光波导器件。 在这种情况下,传输损耗为-3.5 dB / cm。