集成电路用聚合物光波导材料 上传者：lwcgood 2021-02-22 23:39:19上传 PDF文件 276.75KB 热度 39次 针对光互连的热门前沿问题,对目前世界上采用的波导材料进行了总结,并重点介绍了含氟聚酰亚胺和聚硅氧烷两种集成电路最适用的材料及其研究现状。为进一步开展大规模光路集成做了部分基础研究工作。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
