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X射线布拉格 菲涅耳光学元件的实验研究

上传者: 2021-04-07 05:25:14上传 PDF文件 870.63KB 热度 12次
用光学全息方法在涂有光刻胶的多层膜表面上形成布拉格-菲涅耳元件所需的波带片图形, 通过离子束刻蚀方法将波带片图形转写到多层膜上, 完成元件的制作, 给出布拉格-菲涅耳光学元件测量结果。 测量结果表明上述方法适于制作布拉格-菲涅耳元件。
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