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用澈光检验光掩模的缺陷

上传者: 2021-04-07 02:47:59上传 PDF文件 651.81KB 热度 14次
光掩模的缺陷形状,虽然一般可用与参考图案比较的方法检查出来,但也可通过其不规则的边缘更迅速地鉴别出来。这种观察法有适合于计算机化的优点,基于激光器的系统既可以检验又可以修正薄膜混合电路用的光掩模,它仅需要以前光靠技术人员的时间的20%。
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