基于空间光调制器的灰度掩模制作系统 上传者:qq_68599 2021-02-21 08:01:18上传 PDF文件 141KB 热度 5次 提出了基于空间光调制器的灰度掩模制作新方法.分析了该方法的基本原理,构造了相应的实验系统.同时制作了闪耀光栅、菲涅耳透镜以及Dammann光栅等二元光学器件的灰度掩模.该方法采用逐个图形曝光的方式使其具有内在的并行特性,可大大提高灰度掩模的制作速度和精度,并降低生产成本. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 收藏 腾讯 微博 用户评论 发表评论 qq_68599 资源:460 粉丝:0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台,下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容!联系邮箱:server@dude6.com