透射式GaN紫外光电阴极的制备及光电发射性能

设计了一种以蓝宝石为衬底、AlN为缓冲层的MOCVD外延P-GaN样品作为透射式阴极材料,并利用超高真空表面净化工艺与(Cs,O)激活工艺对其进行了光电阴极制备。紫外光谱响应测试结果表明,所制备的GaN紫外光电阴极在透射式工作模式下具有明显的“门”字响应,最高量子效率15%,与反射式光谱响应曲线相比,透射式阴极的总体响应幅度较低,长波响应阈值向短波推移。最后从阴极材料结构、外延水平及阴极制备工艺方面分析了所得的实验结果。