基于硅衬底的阳极氧化铝高灵敏度湿度传感器的制作及特性

本文提出了一种基于硅基板的湿度传感器,该传感器由阳极氧化铝膜和指状电极组成。 通过电化学氧化技术,在硅衬底上制备了具有高Kong隙率的AAO膜。 在最佳氧化条件下,Kong径为37-79 nm,深度约为7μm。 通过真空蒸发沉积法在AAO膜的顶部制作叉指电极。 结果表明,该传感器在整个相对湿度(RH)范围内具有不同的非线性响应。 此外,在高RH时(从75%到95%),电容与RH之间几乎具有线性关系。 在1 kHz时可获得613 pF /%RH的最高灵敏度,这比其他频率要高得多。