基于直接相位解调的双光纤法布里 珀罗位移传感器

条纹计数法的分辨率精度,而常用的高级外部差调频校准法(如相位差生成载波法,线性调频法),在光源调频过程中伴生有幅度调制和调制调制系统复杂。提出了一种基于双光纤光路相位偏移的法布里-珀罗(FP)位移传感器,原理上省去了光源调频过程,在提高检测精度的同时,成本与条纹计数法相当。位移测量实验结果表明,该传感器在0〜500μm的测量范围内,线性度为1.1%,误差界限为±3μm。