激光微加工的光纤法布里珀罗应变传感器

报道了一种在光纤内部通过采用157 nm激光微加工一个自封闭法布里珀罗(F-P)腔而形成的在线式全光纤标准具。实验研究了这种标准具的应变和温度特性,结果表明,在标准具两固定点相距1 m的情况下,位移相移系数和位移谷值波长漂移系数分别为1 mrad/μm和5.2 pm/μm,曲线的线性度为99.92%;在18 °C-500 °C的温度范围内平均温度系数为0.13 mrad/°C和0.64 pm/°C,温度不敏感。实验证明该标准具有很好的传感特性,能满足各种应变测试的需要,如极好的条纹对比度(高达30 dB)、低温度交叉敏感、大规模生产的极大潜能、低成本和耐恶劣环境能力强等。