入射光强和背景光对二维光电位置敏感器件干扰的影响

光电位置敏感器件(PSD)是一种可直接对其光敏面上的光斑位置进行检测的光电器件,可构成非接触高精度动态测量系统。光电位置敏感器件在使用中的关键问题是如何定量确定入射光强的大小和克服各种背景光干扰,以提高检测的精度和可靠性。根据光电位置敏感器件的原理和光点位置方程,找到有背景光作用于光电位置敏感器件上位置输出的关系及背景光导致的位置误差的实验数据,同时研究入射光强对光电位置敏感器件位置输出误差最小的定量关系。