具有集成GaAs微透镜的大功率大Kong径底部发射980 nm VCSEL

已制造出微透镜集成的底部发射980 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL),发射窗口Kong径为400μm。 具有九个InGaAs-GaAsP量子阱和n型分布式布拉格反射器(n-DBRs)的反射率略有下降的新型材料结构可用于增加输出功率。 通过单步扩散限制湿法刻蚀技术在GaA.s基板上制造凸微透镜。 在横向氧化之后,活性层的直径为大约200μm,并且微透镜的标称直径为400μm。 在室温下连续波运行时,最大输出功率为200 mW。 单个器件在4A电流下的远场发散角theta(平行)和theta(垂直)分别为8.7度和8.4度。 比较了集成了微透镜的VCSEL和普通VCSEL之间的光束性能。