MEMS蓬勃发展意味着我国应跟紧步伐

MEMS技术运用开始于上世纪70年代末期的欧美等国家,用于以蚀刻硅片结构制作压力传感器、电容式感应移动质量加速计和定位陀螺仪。上世纪90年代起,围绕着PC和信息技术,微光学器件成为MEMS运用的主要领域。本世纪初,随着工艺技术的不断完善与创新,面向射频无源元件,在硅片上制作的音频、生物和神经元探针,以及所谓的“片上实验室”生化药品开发系统和微型药品输送系统的静态和移动器件,开始广泛启用MEMS工艺技术。我国在科研方面与国际几乎同步,但产业化技术工艺和应用与国际相比,具有近10年的差距。 由于MEMS技术工艺具有较大的分散性和差异性,其运用方式不同,使得产品设计、材料、加工、系统集成、封装