高性能MEMS意味着什么?

“高性能MEMS到底是什么?”。首先,回顾ADIMEMS是如何定义一些主要规格的。然后,简单看一下基于加速度计的倾斜检测及相关主要规格,接着通过余下的讨论介绍自主机器人示例。接下来将更具体地说明陀螺仪规格,同时细致分析各种误差源、表征技巧以及各种情况的考虑因素。接着将讨论惯性测量单元(IMU),也就是各种传感器的组合,包括但不必限于加速度计和陀螺仪。然后是IMU的其他相关考虑点,最后将简短总结一些优质产品的性能。