法国研制长寿命准分子紫外激光器

准分子紫外激光真的可靠吗?法国通用电气公司马科西研究中心的工作开辟了一条改进的道路。他们用准分子紫外激光进行有机材料加工,尤其是进行低温微电子材料的腐蚀或沉积。XeCl、KrF或ArF横向放电激励脉冲激光器,在阻力严重的工业中已看到前途。它的弱点是闸流管,它要在高速开关和高电压下保证预电离气体均匀放电,产生激光。