XeF(C Α)准分子激光器—— 一种可见波段高效可调谐激光

到目前为止,具有较高功率和高效率的激光器仅存在于红外和紫外波段。CO2激光器(λ=248 nm)的效率达到30%,KrF激光器(λ=248 nm)的效率为15%。在可见光波段 (400~700 nm)仅有染料激光器,其效率在1%以下,它用于工业的可能性实际上无从提起。幸好这一欠缺可由XeF(C—A)激光器来弥补。像KrF激光器一样,它属于准分子激光器。