半导体制造业中激光技术的选择应用

目前Nd:YAG激光器正被应用于半导体制造业中若干费用比较合算的方面。本文简要地评论了其中三种应用:(1)利用连续泵浦重复Q开关Nd:YAG激光器切割功率器件的圆形模片;(2)利用小型被动Q开关脉冲泵浦Nd:YAG激光器来修整硬表面光掩模的缺陷;(3)利用具有内部二次谐波发生器的连续泵浦Nd:YAG激光器直接扩散掺杂剂以产生背面欧姆接触。