测量大数值孔径光学系统小光斑的方法

介绍了一种小孔扫描测量大数值孔径光学系统小光斑的方法。利用近场光学显微镜的光纤探针采样技术和压电陶瓷扫描技术,可对光学系统小光斑的光强分布进行高空间分辨的测量。由于光纤探针采样点的大小为几十纳米或更小,压电陶瓷扫描间距为几纳米或更小,因此该方法特别适合大数值孔径光学系统小光斑的测量。实验证明,采用该方法,测量的空间分辨率可达50~100 nm左右。