大数值孔径聚焦的特性研究

激光束经过大数值孔径透镜聚焦后,会得到一个亚波长量级的极小光斑,能够应用于显微技术、光刻和光数据存储。基于德拜矢量衍射积分公式,研究了激光束经过大数值孔径透镜的聚焦特性。较为系统地分析了大数值孔径聚焦的光强、相位、相干度和偏振度特性,以及入射光束偏振度和相位变化对聚焦光斑形状的影响。研究表明,激光束经过大数值孔径透镜聚焦后,光束本身带有的自旋角动量会转化成光束的轨道角动量。同时,随着大数值孔径的聚焦过程,激光束的相干度和偏振度也会发生变化。另外,通过调制入射光束的偏振度和相位分布情况,可以实现光束的整形。