具有功能性微米/纳米分层结构的自清洁聚二甲基硅氧烷薄膜

本文报道了一种新型的单步晶圆级超疏水微米/纳米双尺度(MNDS)聚(二甲基硅氧烷)(PDMS)薄膜的制造。 MNDS PDMS膜可在高温下直接从超低表面能硅衬底复制而无需任何表面活性剂涂层,从而实现了高精度。 提出了一种具有增强钝化步骤的改进的深React离子刻蚀(DRIE)Craft.io,以轻松实现超低表面能MNDS硅基板,并还用作后处理Craft.io以增强MNDS PDMS膜的疏水性。 通过密度泛函理论研究了这种增强的钝化步骤对表面能的化学修饰,这也是通过使用第一性原理计算在分子水平上对C4F8等离子体进行处理的首次研究。 通过对关键Craft.io参数(即烘烤温度和时间)对PDMS复制的影响进行系统研究的结果,通过实验获得了在微/纳米集成制造过程中聚合物材料的分层多尺度结构相互作用的见解。第一次。 有限元模拟已被用来说明这种新现象。 另外,已经开发了分级的PDMS金字塔阵列和V形凹槽,并且打算分别用作用于光吸收涂层和液滴的定向传输的功能结构。 这种具有功能性微米/纳米分级结构的稳定,自清洁的PDMS膜,是通过可重复使用的硅模具通过晶圆级单步制造Craft.io制成的,在微型/