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亚微米外部电光检测技术

上传者: 2021-02-28 01:45:22上传 PDF文件 155.91KB 热度 7次
将固浸透镜技术与电光检测技术相结合,建立了具有亚微米空间分辨率的外部电光检测系统,通过使用GaAs半球作外部电光探头,用数值孔径为0.3的显微物镜对波长为1.3 μm的探测光束进行聚焦,得到了半峰全宽直径为0.7 μm的聚焦光斑,成功测量了微带线上10 kHz的正弦波信号,验证了系统的线性响应特性,并得到了6 mV/Hz的电压灵敏度.
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