皮秒激光加工系统设计及实验研究

设计了皮秒激光加工系统,该系统可输出355、532、1064 nm皮秒脉冲激光,单脉冲能量最大1.5 mJ,脉冲宽度9.12 ps。进行了轴向色差补偿设计,轴向焦点补偿最大距离0.4 mm,最小焦斑直径为3 μm,峰值功率密度达0.6×1015 W/cm2。应用该系统,开展了不同波长与不同材料作用的加工实验研究。研究表明,1064 nm皮秒脉冲激光可用于手机屏幕切割,532 nm皮秒脉冲激光可用于光电探测器制作,355 nm皮秒脉冲可用于精细度要求较高的金属类材料加工。