532 nm皮秒激光加工石英玻璃的研究

采用皮秒激光对石英玻璃进行打孔实验,探究了石英玻璃在532 nm皮秒激光作用下的损伤阈值,同时通过控制变量法研究了激光能量密度、脉冲持续时间和激光重复频率等参数对石英玻璃加工孔径与深度的影响,并对这种规律进行简要的分析。通过实验最终得出皮秒量级下石英玻璃的损伤阈值约为2.01 J/cm2,并发现所加工石英玻璃的孔径与深度在一定范围内与激光能量密度和加工时间成正比,但增速最终趋于平缓;激光重复频率对小孔加工质量亦有重要影响。最后,在得到的损伤阈值和加工规律基础上对加工参数进行了初步优化,获得了无裂纹、表面形貌规整的小孔加工效果。