纳米光学表面加工缺陷高效检测技术 上传者:renjunjie51266 2021-02-25 17:46:56上传 PDF文件 1.01MB 热度 8次 纳米光学表面是指表面粗糙度均方根值在纳米尺度的光学表面,广泛应用于微电子领域以及光学仪器和装备领域。纳米光学表面加工缺陷主要有表面损伤和亚表层损伤两个方面;基于非接触式无损检测手段的优点,针对白光干涉技术和表面散射测量技术等进行原理分析,采用不同的工艺条件制备不同加工缺陷的测试样片,分别采用白光干涉仪、原子力显微镜和表面散射测量仪进行测量对比分析,实验结果表明白光干涉技术是进行表面粗糙度和亚表层损伤测量的有效手段,具有检测精度高、测量速度快以及对被测件无损伤等特点。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 renjunjie51266 资源:459 粉丝:0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台,下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容!联系邮箱:server@dude6.com