相位式光电显微镜

相位式光电显微镜主要用于静态瞄准,因此也称静态光电瞄准显微镜。 (1)结构与工作原理 在单管光度式的基础上加上扫描振子就构成相位式光电显微镜。图1是典型的相位式光电显微镜系统。灯泡1镜,反射镜12、分划板3组件。和聚光镜2构成照明系统,6是显微物镜组,7是刻尺,5和8是棱和目镜4组成观察瞄准系统,9是振子,10是狭缝,11是光电接收组件。 1一灯泡 2一聚光镜 3一分划板 4一目镜 5 8一棱镜 6一显微物镜组 7一刻尺 9一振子 lO一狭缝 II一光电接收组件 12一反射镜 图1 相位式光电显微镜 当振子以频率r扫描时,光电组件上将接收到交变的光信号,信号频