电子测量中的光度式光电显微镜

图1是其原理图。标尺2经照明系统1照明,物镜3将标尺2上的刻线经析光棱镜4分别成像于两狭缝面5上,如果刻线像相对狭缝有位置变化,则穿过狭缝而到达光电接收组件6的光通量将变化,因此光电管所产生的光电流也发生变化,经电压放大后进行比较,最后由电表7显示,电表指零表示对准刻线。 图1 光度式光电显微镜原理图 为便于分析,先看单管对准原理。如图2所示,设狭缝宽c与刻线像宽召相等,当刻线像中心与狭缝中心相对位置不同时,穿过狭缝进入光电管的光通量。由于光电组件的输出取决于光通量,故上述不同位置的相应输出电压经放大后由电表读出。取电压的最小值为零点,即当电表指示σ时,认为刻线像中心与狭缝中心