为了研究具有一定速度和角度的水射流在水射流辅助激光加工碳化硅材料中对加工槽体深度、宽度、热影响区的影响, 利用Fluent软件, 分别以不同速度和不同入射角度的水射流对材料表面冲击力大小的影响进行模拟, 从理论上分析冲击力对加工结果的影响, 同时进行相关实验验证。结果表明, 水射流速度相同时, 随着射流入射角度增加, 其对槽体表面的冲击力逐渐增大。与无水激光加工相比, 水射流辅助激光加工对所得槽体的深度影响较大, 对宽度影响很小或基本无影响, 热影响区显著降低, 槽体底部和槽口处存在较少熔渣和重凝层, 加工质量较好。