抛光粉颗粒度对高功率激光玻璃材料抛光效率和粗糙度的影响

磷酸盐钕玻璃、熔石英和BK7是3类用于激光惯性约束聚变(ICF)装置主要光学元件材料。实验中采用不同平均粒径的氧化铈抛光粉对上述3类材料分别进行抛光, 对特定材料抛光去除量和抛光粉平均粒径的关系进行了研究。实验表明:由于材料的物理和化学特性不同, 特定的材料需选用相应平均粒径大小的抛光粉才能达到最佳的抛光效率。实验还就上述3类高功率激光玻璃材料抛光中各个阶段的抛光粗糙度与抛光粉平均粒径的关系进行了研究, 结果表明:某一规格抛光粉的粒径对不同特性材料抛光后的表面粗糙度影响表征情况不同。