薄Si膜对基底表面粗糙度的影响 上传者：xp23668 2021-03-12 03:48:39上传 PDF文件 1017.62KB 热度 63次 利用ZYGO光学干涉测量仪,散射积分测量法观测了光学元件表面均方根粗糙度.详细分析了薄Si膜对基底均方根粗糙度的影响,由此认为薄膜并不总是复制基底表面的粗糙度,结果出现了薄膜降低表面粗糙度的现象,提出了一定厚度范围的薄Si膜的表面粗糙度存在着一个稳定值的新设想。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
