薄板陶瓷微孔的激光加工工艺研究

主要研究薄板陶瓷微孔的激光精密加工工艺。具体采用CO2、光纤激光器以脉冲打孔和切割技术,通过优化激光器功率、占空比、重复频率、离焦量、辅助气体类型、气压等工艺参数,旨在改善激光加工陶瓷微孔的热影响、锥度和提高激光加工效率满足工业应用的要求。实验结果表明:采用CO2激光能够加工出孔径为80~200 μm的微孔,其效率达18 hole/s,热影响也得到了明显改善;而采用光纤激光单脉冲方式打孔速度达300 hole/s,其微孔锥度可控;切割方式打孔速度达6~8 hole/s,且能够获得孔径为100 μm的直微孔的稳定激光微加工。