用于双面烧结陶瓷的激光均束装置的设计

利用几何光学原理, 设计了一套应用于大功率CO2激光陶瓷烧结的均束装置。采用光波导进行均束, 分光镜进行分光, 使得此装置可以应用于陶瓷的双面烧结。其中, 光波导为长200 mm, 横截面为10 mm×10 mm的中空柱形。采用两块呈一定夹角的平面镜组成分光镜。经模拟, 该装置均束效果良好, 基本不受原始激光束光斑质量的影响。用傅里叶光学对光学系统进行分析, 讨论了增加光斑均匀性的方法。由于所有元件都采用反射型, 能量损失低, 光路校正方便, 符合大功率CO2激光器使用要求。