3.39 μm双波长拍波干涉仪绝对测量大直径方法的研究 上传者:plmm97493 2021-02-23 19:39:47上传 PDF文件 1.76MB 热度 23次 在介绍了3.39 μm双波长拍波干涉仪测量原理的基础上,提出了激光瞄准大型工件内外径测量点和3.39 μm双波长拍波干涉仪绝对测量大直径的新方法,给出了瞄准定位的实验结果,并对测量系统的误差进行了分析。分析表明:测量系统测量10 m直径时,其测量误差小于0.03 mm。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论