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3.39 μm双波长拍波干涉仪绝对测量大直径方法的研究

上传者: 2021-02-23 19:39:47上传 PDF文件 1.76MB 热度 8次
在介绍了3.39 μm双波长拍波干涉仪测量原理的基础上,提出了激光瞄准大型工件内外径测量点和3.39 μm双波长拍波干涉仪绝对测量大直径的新方法,给出了瞄准定位的实验结果,并对测量系统的误差进行了分析。分析表明:测量系统测量10 m直径时,其测量误差小于0.03 mm。
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