光相位延迟器延迟量的智能化测量

从琼斯矩阵理论出发,利用偏振镜、分束器和锁相放大器以及微处理器,搭建了测试系统,实现了数据的自动化处理。利用闭环反馈控制系统和高精度步进马达,对旋转角度进行了反馈控制,利用Si光电探测器,使用范围覆盖近紫外到近红外,创建的测量系统具有测量精度高,重复性好,自动化程度高,操作简单的特点。经过对菲涅耳菱体型相位延迟器件的测试,测量误差小于0.3%。该系统也可以用来测量其他类型器件的相位延迟,在偏光测试领域有着广泛的应用。