90°反射式相位延迟器的设计

铜蒸气激光反射镜在非正入射的时候,两个不同的偏振态之间会产生不同的相移。通过优化设计,在490~530 nm之间p、s波获得了90°的相移,同时也使反射率在99??998%以上。Ag层的厚度对于相移不敏感,并且当其厚度大于一定值的时候,对反射率没有影响。根据误差分析,制备薄膜时其沉积速率精度控制在±1%以下,在光谱范围内能达到±15??28°的相移误差,相移均在504 nm处附近存在有一个收敛值。折射率的变化控制在±1%以下,在光谱范围内能达到±12??77°的相移误差。最外一层厚度变化±1%,其相移变化达到±5??5°,2~5层和9~16层对相移的影响也在0.5°之上,其余各层对相移影响非常