抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量

为降低传统光栅横向剪切干涉仪中双方孔空间滤波器带来的加工和装调难度, 设计了一种基于9步式零级相位误差标定的光栅横向剪切干涉测量方法, 只需采用可变空间滤波器即可抑制零级串扰对相移相位复原的影响。针对数值孔径为0.125的投影光刻物镜, 完成了参数设计和原理验证系统的搭建。通过剪切相位复原和波前重构, 实现了该物镜的波像差检测。结果表明:其波像差小于20.32 nm。最后对该光栅横向剪切干涉仪进行重复精度实验, 其重复精度的方均根值为0.1303 nm, 系统性能良好。