32通道红外集成滤光片的设计和误差分析

红外高光谱的应用对于微型集成滤光片的需求越来越明显。通过改变间隔层的光学厚度,保持基本膜系不变,在1.9~2.4 μm 的红外光谱范围内设计了32通道的集成滤光片。间隔层的改变可以采取刻蚀或镀膜的方法来实现。考虑到制作工艺中存在的误差,利用光学薄膜设计软件对误差和可行性进行了分析。各个光谱通道的半峰全宽在5~8 nm,光谱交叠多在15%以下。在现有工艺条件下,采取刻蚀法或镀膜法均能实现红外集成滤光片的制作。