硅薄膜的短波红外光学特性和1.30 μm带通滤光片

在短波红外区域(1~3 μm),硅薄膜材料因其具有折射率高、透明性好、膜层应力易匹配等诸多优点而得到广泛应用。基于改进后的Sellmeier模型拟合出了制备的硅薄膜的短波红外光学特性,以此为基础,选用硅和二氧化硅两种材料,设计并制备出中心波长在1.30 μm,相对带宽2.46%的带通滤光片。利用了硅薄膜在波长小于1.0 μm波段的吸收特性较好地扩展了带外截止范围。测量结果表明,具有2个谐振腔的带通滤光片峰值透射率达到85.8%,半功率带宽控制在约32 nm,带外截止范围覆盖了波长小于1.75 μm的光谱区域。